| 133201020101 |
Монтаж печи электрической сопротивления конвейерной водородной |
шт |
| 133201020201 |
Монтаж установки выращивания эпитаксиальных структур гидридным методом при пониженном давлении, СВЧ обогревом комплект |
шт. |
| 133201020202 |
Монтаж установки эпитаксиального наращивания пленок монокристаллов комплект |
шт. |
| 133201020203 |
Монтаж установки наращивания эпитаксиальных слоев комплект |
шт. |
| 133201020204 |
Монтаж установки для изготовления многослойных гетероэпитаксиальных структур комплект |
шт. |
| 133201020301 |
Монтаж установки ионно-лучевой, масса 3,2 т комплект |
шт. |
| 133201020302 |
Монтаж установки ионно-лучевой, масса 4,0 т комплект |
шт. |
| 133201020303 |
Монтаж установки ионно-лучевой, масса 5,5 т комплект |
шт. |
| 133201020304 |
Монтаж системы диффузионной однозонной многотрубной комплект |
шт. |
| 133201020401 |
Монтаж установки спекания микроканальных блоков с размерами сечения до 70х90 мм комплект |
шт. |
| 133201020402 |
Монтаж установки выращивания кристаллов комплект |
шт. |